Hoho - Ein Artikel über Röntgen-Lithographie. Und das aus dem Jahr 1983 - Jetzt ists 2018 und wir haben gerade mal Extrem-UV-Lithographie. Allerdings hätte man sich damals wohl auch nicht gedacht welche kleine Strukturen man heute mit doch recht langwelligem Licht zaubern kann.
Auf jeden Fall ein spannendes Thema. Ich mochte die P.M., das wurde immer alles schön erklärt